臺式半自動勻膠烤膠系統(tǒng)(含熱板)
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BASIXX SH22是一款臺式半自動勻膠機熱板復合系統(tǒng),功能強大,具有勻膠、清洗、顯影、干燥、預烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底膠涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake堅膜)工藝等多種功能,樣品最大尺寸為8寸晶圓或者150mm*150mm方片,廣泛用于大學,研究所等科研實驗室。
更新時間:2022-11-24 15:51:16
產(chǎn)品簡介
BASIXX SH22是一款臺式半自動勻膠機熱板復合系統(tǒng),功能強大,具有勻膠、清洗、顯影、干燥、預烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底膠涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake堅膜)工藝等多種功能,樣品最大尺寸為8寸晶圓或者150mm*150mm方片,廣泛用于大學,研究所等科研實驗室。
產(chǎn)品特色
勻膠機:
÷ 落地臺式機,結構緊湊,所有單元集成在一臺設備中,集成度高。
÷ 手動裝載/卸載
÷ 襯底最大可達?200mm (?8inch)或150x150 mm (6 x 6 inch)
÷ 軟件提供用戶友好的操作
÷ 直驅(qū)旋涂電機
÷ 全軸電機驅(qū)動且完全可編程
÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋
÷ 外殼上有電源開關 ON / OFF
÷ 工藝腔和可更換防濺環(huán),易于拆卸以進行清潔。
÷ 系統(tǒng)材料為PP材質(zhì),耐所有類型的抗蝕劑和溶劑以及各種清潔介質(zhì)。
÷ 包括0.5升廢液瓶
熱板:
÷ 溫度高達 300°C
÷ 電子驅(qū)動升降pin
÷ 支撐pin材料為不銹鋼,尖端采用 PEEK 材料 (最大250°C)
÷ 程序控制支撐pin的升降(不同停止的速度和步數(shù))
÷ 熱板通過真空固定晶圓
÷ 熱板蓋手動控制
÷ 集成排煙裝置
÷ 通過設置receip自動進行加熱處理
技術數(shù)據(jù)
勻膠機:
÷ 襯底尺寸: 最大可達?200mm (?8 inch) 或150 x 150 mm (6 x 6 inch)
÷ 電機轉速: 最大10.000rpm,步長1rpm
÷ 電機加速: 最大4.000rpm/s
÷ 步進時間: 1至999.9s,步長為0.1s
÷ 工藝腔材質(zhì): 由天然PP制成
÷ 系統(tǒng)架構材質(zhì): 由白色PP制成
÷ 液體線路:
3線: 2 x 24 V /最大1 Amp (每條) /觸發(fā)點0.1秒- ∞
5線: 6 x 24 V /最大1 Amp (每條) /觸發(fā)點0.1秒- ∞
熱板:
÷ 襯底尺寸: 最大可達 ?200 mm (? 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)
÷ 溫度: 最大可達 300°C, 步進1°C
÷ 溫度精度: < ±1°C@100°C
÷ 支撐pin: ?50 mm (?2”) ,最大可達 ?200 mm(?8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)
÷ 熱板材質(zhì): 硬質(zhì)陽極氧化鋁
÷ 加熱蓋材質(zhì): 不銹鋼
選項
勻膠機:
÷ 自動液體輸送臂 ÷ 液體罐 ÷ 防濺環(huán)
÷ 廢液池 ÷ DI水沖洗 ÷ N2吹掃
÷ 熱板 ÷ 不同類型的夾具 ÷ 中心定位模塊
熱板:
÷ 支撐pin材料 ÷ 邊緣支撐pin ÷ N2吹掃
÷ HMDS 熱板系統(tǒng)(六甲基二硅胺底膠蒸汽涂覆) ÷ 600℃熱板 ÷ 真空泵